Onto Innovation Inc.(NYSE:ONTO)成立于1940年，前称Rudolph Technologies, Inc.（陆得斯科技公司），于2019年10月25日与Nanometrics Incorporated合并改为现用名，总部位于马萨诸塞州Wilmington，全职雇员1,615人，是一家半导体公司，主要为微电子制造行业（尤其是半导体器件制造领域）提供工艺及工艺控制设备与软件。
陆得斯科技公司Onto Innovation Inc.(ONTO)美股百科
Onto Innovation Inc. 在美国、中国大陆、台湾、韩国、日本、东南亚、亚洲及欧洲从事工艺控制设备的设计、开发、制造与支持，这些设备主要用于宏观缺陷检测与计量分析。
Onto Innovation 公司提供光刻系统及工艺控制分析软件；以及自动化与集成计量系统，包括硅晶圆全表面检测、宏观缺陷检测、自动缺陷分类与图案分析、良率分析、不透明薄膜计量、4D业务、先进封装光刻、工艺控制软件及良率管理软件等产品。
Onto Innovation 公司还通过独立系统提供工艺与良率管理解决方案，以及器件封装与测试设施，涵盖光学计量、宏观缺陷检测、封装光刻以及透明与不透明薄膜测量等领域。
此外，Onto Innovation 公司提供一整套工艺控制软件产品组合，涵盖单机设备、设备群组以及工厂级整体解决方案。
再者，Onto Innovation公司还从事系统与软件、备件及其他服务业务，同时提供软件许可服务，并推出如 FAaST、CnCV 和 MBIR 等先进产品线。
Onto Innovation 公司的产品广泛应用于半导体及先进封装器件制造领域，包括硅晶圆、半导体集成电路制造、发光二极管（LED）、垂直腔面发射激光器、微机电系统、CMOS 图像传感器、硅及化合物半导体功率器件、模拟器件、射频滤波器、数据存储，以及各类工业和科研应用。
陆得斯科技公司Onto Innovation Inc.(ONTO)历史百科
Rudolph Technologies, Inc.（RTI）的历史可追溯至1940年，当时 Otto Curt Rudolph 创立了 O.C. Rudolph & Sons, Inc.。该公司最初是一家显微镜和科学仪器的进口商，并于1970年10月更名为 Rudolph Research Corporation。公司主要为实验室和大学设计光学设备。
Nanometrics 成立于1975年，是光学计量领域的先驱和创新者。1984年，公司开始公开上市交易。
1996年6月，Rudolph Research 首席执行官 Richard Spanier 与总部位于波士顿的 Riverside Partners 以及总部位于纽约的 Liberty Partners 等投资机构达成合作协议并获得投资。当时，Spanier 博士从公司及半导体行业的日常管理中退休，由半导体行业资深人士 Paul F. McLaughlin 接任首席执行官。
1999年8月，公司正式更名为 Rudolph Technologies, Inc.（RTI）。
1999年11月，RTI 完成首次公开募股（IPO），营收大幅增长，创下3810万美元的历史新高。同年，公司启用新的生产设施，并推出新产品——MetaPULSE® 铜薄膜测量设备系列。
2002年7月，RTI 同意收购总部位于美国德克萨斯州 Richardson 的缺陷控制公司 ISOA, Inc.。ISOA 起源于 Texas Tech University 国际信息学研究中心的分拆企业，约16年来一直为半导体行业提供缺陷检测软件技术。该交易于2002年9月完成，ISOA 成为 RTI 的良率计量业务部门。
数月后，RTI 在中国上海浦东工业区设立办事处，进入中国市场。此后，公司在全球主要半导体制造地区（包括日本、欧洲、韩国、中国台湾和新加坡）陆续设立更多办公室。
2006年，公司完成与总部位于美国明尼苏达州的 August Technology Corporation 的合并，使员工总数增长至550人，并进入半导体制造“后段”工艺领域。
2007年，公司收购总部位于美国华盛顿州的 Applied Precision LLC 的半导体业务，将探针卡测试与分析能力纳入产品组合。2008年，公司宣布收购 RVSI Inspection LLC 及其晶圆扫描检测系统。2009年，公司收购工艺控制软件提供商 Adventa Control Technologies, Inc.，并于2010年完成对 MKS Instruments, Inc. 旗下 Yield Dynamics 业务的收购。
2012年，公司宣布两项收购：德国 Mainz 的 NanoPhotonics GmbH（无图案晶圆检测）以及美国马萨诸塞州 Wilmington 的 Azores Corp.（使公司进入先进封装与平板显示光刻市场）。2013年，公司收购位于美国加利福尼亚州 Newbury Park 的 Tamar Technology 部分资产，该公司专注于3D计量技术。2015年，公司收购 Stella Alliance 的检测技术资产，并获得相关专利以增强检测能力。
2015年11月，公司宣布 Paul F. McLaughlin 退休，并任命 Michael P. Plisinski 为首席执行官兼董事。
2017年1月，Voce Capital Management LLC 在致投资者的信中建议将半导体设备公司 Rudolph Technologies Inc. 与 Nanometrics Inc. 合并。该合并最终于2019年10月30日完成。
2019年10月25日，Rudolph Technologies Inc. 与 Nanometrics Incorporated 合并，成立 Onto Innovation，并以 ONTO 代码上市交易。
2024年11月1日，Onto Innovation (NYSE:ONTO)宣布已收购位于加州的Lumina Instruments。Onto Innovation 还从 Kulicke 和 Soffa Industries 手中收购了光刻业务。 预计这些收购将在未来三年内产生高达 1 亿美元的年收入。
2025年6月30日，Onto Innovation (ONTO) 周一表示，已达成最终协议，以 4.75 亿美元现金和 706,215 股 Onto Innovation 普通股收购 Semilab International 的材料分析业务，交易总价值约为 5.45 亿美元。
2026年4月21日，Onto Innovation (ONTO) 宣布与总部位于日本的 Rigaku 建立战略合作伙伴关系；Rigaku 是一家专注于为半导体制造开发先进工艺控制解决方案的 X 射线技术公司。作为深化合作伙伴关系的一环，Onto Innovation (ONTO) 已同意斥资约 7.1 亿美元收购 Rigaku 27% 的股权。此次合作将把 Onto Innovation 的光学量测技术及 AI 驱动的分析能力——尤其是其 Ai Diffract 软件——与 Rigaku 的 X 射线技术（包括 CD-SAXS 平台）相结合，从而为先进逻辑器件及存储器件提供混合量测解决方案。
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Onto Innovation (ONTO) 主要为微电子制造行业（尤其是半导体器件制造领域）提供工艺及工艺控制设备与软件。 该公司的产品组合涵盖自动化缺陷检测与量测系统、探针卡测试与分析系统，以及光刻步进重复系统。此外，Onto Innovation 还提供一系列广泛的软件产品，旨在提升良率、优化工艺控制并降低制造成本。该公司同时也是晶圆厂设备（WFE）的供应商之一。