Nearfield Instruments B.V.成立于2016年，总部位于荷兰鹿特丹，研发并供应用于半导体制造过程控制的计量与检测设备。Nearfield Instruments 设计、集成并维护先进的测量系统，协助芯片制造商监控和优化生产流程。其技术基于高通量扫描探针显微镜（SPM）原理，涵盖了针对复杂三维半导体结构的无损测量解决方案。此外，Nearfield Instruments 还开展精密机电一体化、运动控制、隔振以及自动化探针操作等领域的研究与开发，旨在提升测量精度与生产效率。
#Nearfield Instruments
Nearfield Instruments B.V.美股百科
Nearfield Instruments 于 2016 年从 TNO 分拆成立，总部位于荷兰 Rotterdam，在台湾、韩国、日本、新加坡、美国和比利时开展业务，与客户共同进行研发，并为全球客户提供支持。Nearfield Instruments 在全球拥有约 450 名员工，并与世界领先的半导体制造商和研究合作伙伴密切合作。
Nearfield Instruments 为半导体行业开发先进的 3D 计量与检测解决方案，专注于下一代扫描探针显微镜系统，可提供产线内 3D 纳米级计量。Nearfield 的解决方案专为无缝集成到大规模制造环境而设计，结合了强大的自动化能力、快速测量周期以及与晶圆厂标准的兼容性，以支持下一代半导体创新。
Nearfield Instruments 专有的 QUADRA 平台可实现非破坏性、高通量的原子力显微镜（AFM）检测，并具备完整的 3D 成像能力，包括对高深宽比沟槽、GAA 凹槽、通孔以及多层堆叠等复杂结构进行侧壁测量，这些结构对于先进逻辑芯片、存储器和 3D IC 封装应用至关重要。
随着 AI 持续扩展，半导体行业必须在大幅提升计算性能的同时降低能耗，并让数据传输变得更快、更高效。Nearfield 的创新计量与检测解决方案能够提供先进工艺控制所需的精准、可靠且高通量的测量能力，从而提升良率并确保可制造性。通过为高数值孔径极紫外光刻（High-NA EUV）、环绕栅极（GAA）、互补场效应晶体管（CFET）架构以及混合键合 3D 集成提供关键测量能力，Nearfield 在推动下一代 AI 计算实现可规模化、节能、可制造和可靠方面发挥着核心作用。
Nearfield Instruments B.V.产品百科
Quadra 自动化高通量三维扫描测头计量
- 3D——高深宽比 CD 计量：制造环绕栅极场效应晶体管（Gate-All-Around FET）所面临的主要计量挑战，包括高深宽比工艺、亚表面 3D 结构以及极小间距。Nearfield Instruments 新开发的 Feedforward Trajectory Planner（FFTP）成像模式，可实现器件上的非破坏性测量，用于 3nm 及更先进 GAA FET 的产线内工艺监控。
- 精度——稳定性与重复性：作为一项基准，业界过去常使用“零扫描”下的“噪声底”来评估 AFM 性能。但噪声底并不能代表设备的精度、重复性、高速成像中强扫描台反作用力造成的变化、晶圆重新装载带来的影响，以及长期漂移等因素，而这些都会影响测量质量。QUADRA 架构中的革命性机电一体化设计，使其能够实现行业领先的测量精度和可重复性。
- 吞吐量——速度与生产效率：获取信息所需的时间至关重要。QUADRA 采用多台微型化高速 SPM 并行工作的架构，在目标型产线内计量应用中，与其他自动化单探针 AFM 计量工具相比，吞吐量提升了 100 倍。它还具备高速导航至目标位置（POI）、探针更换与对准，以及独特的数据可视化功能，从而进一步提高生产效率。
Nearfield Instruments B.V.融资百科
2017年9月5日，Nearfield Instruments B.V.完成1000万欧元A轮融资，由Innovation Industries和Samsung Ventures共同投资。
2019年11月13日，Nearfield Instruments B.V.完成1100万欧元B轮融资，Innovation Industries和Samsung Ventures共同参与。
2021年6月7日，Nearfield Instruments B.V.完成Invest-NL领投的1750万欧元B+轮融资，Innovation Industries跟投。
2021年7月30日，Nearfield Instruments B.V.获得来自Eugene Investment和Innovation Industries的1200万欧元风险投资资金。
2023年5月22日，Nearfield Instruments B.V.获得1100万美元风险投资资金，TNO、Invest-NL和Innovation Industries共同投资。
2024年7月15日，Nearfield Instruments B.V.获得来自EIC Accelerator的投资和捐助。
2024年7月18日，Nearfield Instruments B.V.完成Temasek和Walden Catalyst领投的1.35亿欧元C轮融资，ING Group、Invest-NL、Innovation Industries和M&G Investments跟投。
2026年6月22日，Nearfield Instruments B.V.完成Fidelity Management & Research Company领投的3.8亿美金D轮融资，Temasek、Walden Catalyst Ventures、Innovation Industries、M&G Investments、Invest-NL、Qatar Investment Authority（QIA）、TNO Ventures 和 ING Group 跟投。估值达到 16 亿美元。
Nearfield Instruments B.V.美股投资
非上市公司，等待Nearfield Instruments B.V. IPO上市。
参考资料：
