MKS Inc.(NASDAQ:MKSI)成立于 1961 年，前称MKS Instruments, Inc.(万机仪器公司)，于 2025 年 5 月改为现用名，总部位于马萨诸塞州Andover，全职雇员10,200人，为美国、中国、韩国、日本、台湾、新加坡及全球其他地区的半导体制造、电子与封装以及特殊工业应用领域提供基础技术解决方案。
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万机仪器 MKS Inc.(MKSI)美股百科
MKS Inc. 运用自身广泛的科学与工程能力，打造各类仪器、子系统、系统、过程控制解决方案以及特种化学技术，旨在帮助全球众多领先的科技与工业企业提升工艺性能、优化生产效率，并实现独特的创新。
MKS Inc.业务分为3大部门：真空解决方案部门（Vacuum Solutions Division，VSD）、光子解决方案部门（Photonics Solutions Division，PSD）和材料解决方案部门（Material Solutions Division，MSD）。
VSD 业务部门提供基础技术解决方案，涵盖压力测量与控制、流量测量与控制、气体及蒸汽输送、气体成分分析、电子控制技术、反应性气体生成与输送、动力生成与输送，以及光纤温度与位置传感。
PSD 业务部门提供一系列解决方案，涵盖激光、光子学、光学、精密运动控制以及振动控制等领域。
MSD业务部门负责开发、加工和制造各类技术，涵盖先进表面改性、化学镀与电镀以及表面精饰工艺，服务于化学、设备及相关服务市场，并应用于高科技领域。
MKS Inc. 通过多种渠道销售其产品与服务，包括直接销售、独立分销商网络、销售代表，以及包含产品目录在内的各类网站。
万机仪器 MKS Inc.(MKSI)历史百科
1961年，工程师 Ken Harrison 和 John A. Dillon 共同创立了 MKS。两位创始人共同研发了公司的首款产品——Baratron 电容式压力计，主要用于测量半导体晶圆制造腔室内的气体压力。
20世纪90年代，随着微处理器和集成电路性能不断提升，以及个人电脑在全球消费者和企业中的迅速普及，半导体行业迎来了大幅增长。MKS 抓住这一市场机遇，持续改进真空测量与控制、气体和蒸汽输送以及工艺监测解决方案，以满足半导体制造行业日益增长的需求。同时，公司通过在全球各地设立新的销售和服务办事处，扩大国际业务布局，更好地服务海外客户，并积极开拓欧洲和亚洲的新兴市场。
1999年，MKS 通过首次公开募股（IPO）在纳斯达克证券交易所上市。
2000年，MKS 以970万美元现金收购了总部位于加利福尼亚州的 Spectra International, LLC。该公司主要设计和制造基于质谱仪及光学光谱仪的工艺监测产品，广泛应用于半导体、薄膜涂层和先进材料加工行业。
2001年，MKS 以价值3亿美元的股票收购了 Applied Science and Technology Inc.（ASTeX）。ASTeX 是一家溅射设备及其他相关产品供应商。
2002年，MKS 以价值2.88亿美元的股票收购了 Emerson Electric Company 旗下的 ENI 部门。该部门主要提供固态射频（RF）和直流（DC）等离子体电源、阻抗匹配网络及相关仪器设备。
2008年，MKS 收购了瑞典私营软件公司 Umetrics。该公司主要提供多变量数据分析和实验设计软件。
2010年，MKS 以8,700万美元从 Azenta 收购了 Granville-Phillips。Granville-Phillips 是一家真空测量与控制仪器供应商，产品主要面向薄膜、半导体及一般工业市场。
2012年，MKS 收购了韩国射频等离子体系统供应商 Plasmart，进一步扩大其在等离子体技术领域的业务布局。
2016年，MKS 通过一笔价值约9.8亿美元的全现金杠杆收购交易，完成对 Newport Corporation 的收购，使其潜在目标市场规模扩大至原来的两倍以上。 此次交易还包括 Newport 旗下的 Spectra-Physics 和 Ophir Optronics，两家公司均为光子学及光学产品供应商。
2019年，MKS 以10亿美元收购了 Electro Scientific Industries（ESI），该交易于2018年底宣布。ESI 主要提供激光微加工设备、基于激光技术的先进制造系统，以及用于印刷电路板（PCB）制造的光子学精密设备。
截至2021年，半导体相关产品贡献了 MKS 约60%的销售额。
2022年，MKS 以现金加公司普通股的方式，斥资约44亿美元收购了德国科技公司 Atotech。 Atotech 是一家特种化学品和表面处理技术供应商。此次收购进一步拓展了 MKS 在特种化学品及表面处理技术领域的业务。
2025年10月10日，半导体行业供应商 MKS（纳斯达克股票代码：MKSI）正准备出售其价值 10 亿美元的特种化学品部门，以加倍为芯片制造商提供产品。
2026年10月19日，MKS (MKSI) 已同意将其 Ophir Optics 业务出售给 TTM Technologies，交易方式为全现金收购，估值为 6.5 亿美元。Ophir Optics 提供红外热成像及激光光学解决方案，应用于国防、安防和工业领域。
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万机仪器公司分为3个部门来运作：Vacuum & Analysis（真空与分析）、Light & Motion（光与运动）和Equipment & Solutions（设备与解决方案）。